电子工业超纯水设备系统概述

净得瑞 2020.08.13 13:00 368

 随着电子工业的发展,在芯片的生产加工过程中,对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水也是其中最关键的因素之一。

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   预处理部分主要包括:沙滤、活性碳塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水处理部分主要包括:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水处理部分主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。

  考虑到在向工艺设备输送高纯水过程中,输水管道会对水质再次造成污染,因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心,再加上超滤设备(UF),以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。


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